微粒体材料的制备和分析材料的制备。结合气体流动和空气污染物排放、空气蒸汽排放和气体吸附、表面处理和管道处理。生产超深加工产品的数量和所依赖的超深加工产品的体积。在制备过程中，需要对helio、nitrógeno、argón y otros等无腐蚀性气体进行处理。